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第323章大師傅,來折騰精度吧

“顧松去滬海了?”

田德宇點了點頭:“說是過去處理流片和工藝的前期工作。我擔心,滬海私底下提什麽條件。”

柳良木沉吟了一會:“避免不了。武湖的基礎确實比别人差,但芯火科技已經确定落戶武湖,我們把該做的工作做好。先把規劃好的地盡快安排程序,把基建工作做好。德宇,明天他的助理和負責籌建的廖總一起過來,這一趟考察,關系到廠區的設計規劃什麽時候能出來,要麻煩你協調好各單位了。”

“我會盯緊的。”

柳良木說道:“暫時先兼着這個工作,你挂帥光電産業帶的規劃,服務好芯火科技的盡快落地。相關課題的科研這一塊,還要組織武湖的科研院所研究一下,能不能盡量多參與一些。這件事關乎中湖百年發展,下一階段還有更重的擔子要交給你。”

田德宇心中一動,平靜地說:“這個事情我一定盡心盡責,不負省裏的重托。”

柳良木停了一下,問道:“顧松有沒有提到,什麽時候回中湖?”

“說是滬海行程結束後,會回燕京一趟,參加完公司年會就回永甯。時間估計是20号左右。”

“隻有半個月啊……”柳良木蹙着眉頭,說道,“芯火科技的奠基趕得上這個時間嗎?”

“公司注冊的程序、土地拍賣的程序……我來組織吧。”田德宇估摸了一下,還是點了點頭。

“好,趁此機會,要把光電産業帶的初步規劃思路向領導彙報。王邦元老很重視這個項目,不說今年能投産的話,今年内,芯火科技需要建好。争取明年這個時候,光電産業帶有一個新的面貌。”

田德宇笑了笑說:“那永甯那邊也需要加把力了。”

柳良木也露出笑容來:“這就看永甯班子的能耐了。顧松是家鄉人,他在中湖的規劃不少。有些能先落地的,可以開始考慮嘛。”

“回頭我和他們聊一聊。”

……

中湖那邊擔心滬海對顧松有其他拉攏的手段,顧松其實一直泡在滬海微電子裝備和華芯國際。

關于浸潤式光刻的技術難題,顧松腦子裏自然有全套解決方案。

不管是浸潤液體的種類,還是浸沒方式、氣泡消除、污染沉積,都有辦法能夠解決。

但問題是大數值孔徑投影物鏡和偏振光的控制。

這兩個問題,就涉及到整個光刻機中最昂貴最複雜的部件了。

幾十片各種規格的鏡片,每一片都得用高純度透光材料進行高質量抛光,鏡片表面稍微有一點曲度不對,或者鏡片裏的雜質産生衍射折射不對,再聚焦後的圖像缺陷會成倍放大。

且不說對鏡片材質和加工精度的事,這玩意,采用傳統的方式,不論鏡頭數量如何堆疊、如何搭配,都難以達到浸潤式光刻所需要的孔徑。

但折反式投影物鏡,就更複雜多了。

顧松倒是能給出圖紙,但問題是現在造不出來。鏡片的研磨、其他零部件加工和組裝的精度,都達不到那個水平。

這玩意,難就難在精度。有人曾打過比喻,說相當于兩架大飛機從起飛到降落,始終齊頭并進。一架飛機上伸出一把刀,在另一架飛機的米粒上刻字,不能刻壞了。

真實的情況比這還要誇張,這可是納米級的操作,頭發絲千分之一的尺度啊。

達到這種精度的鏡片,都是手工打磨。一個鏡面的表面被分爲數萬個點,每個點的誤差在十位數的納米級别。

絕對的聖手!

阿斯麥爾也不是萬能的,他也是到處采購最好的零部件,最後集成起來的。但問題是,這些最好的零部件,他沒法采購到啊。

腦子裏是有黑科技全書,可這玩意沒辦法直接操刀加工。

反倒是偏振光的控制,相對還簡單一些,雖然也是非常精密的設計和加工。

“牛總,如果我能給出全套的設計圖紙和工藝方案,你們對鏡頭加工和組裝有把握嗎?”

牛俊明确認道:“全套設計圖紙和工藝方案?”

顧松不管他的反應,隻管肯定地點頭。

牛俊明臉上神色變幻,最後咬牙說道:“這個隻能堆人力了,靠數量來拼。”

這也是事實,顧松也沒辦法苛求:“好,這是一個專門的課題。隻要這一關過去了,浸潤式光刻需要的投影物鏡和供液裝置就突破了。”

實在不行的話,就看能不能把問題再細化,從老婆那裏再敲詐點什麽工藝技巧出來。

章儒京覺得腳很軟:“非得動投影物鏡嗎?這玩意壞了,就相當于整台機器廢了啊。”

顧松歎了一口氣:“怪不得研發這玩意燒錢,15億太少了,光一台光刻機都燒不出來。”

“美得你!要是15億就能燒出一台光刻機,大把的人就丢錢去燒了。”章儒京翻着白眼,試圖做最後的努力,“就不能先搞250納米制程的嗎?”

“那個簡單,高制程總得突破啊。”

“那個簡單……”章儒京氣急,“簡單的你倒是先搞定啊,我這邊随時可以配合你。”

“我這不是人還沒來嗎?等青山從武湖那邊過來,就開始攻關250納米的流片。”

“你設計做好了?”

顧松奇怪地看着他:“定好了這個流片規格,設計當然做好了。”

章儒京吸着涼氣:“你這個實驗室裏真不是人,不是光工藝理論弄清楚了?連240納米制程的存儲芯片都設計好了?設計容量有多大?”

“流片的這枚簡單點,存儲單元8層,封裝4層,單顆4G的容量。”

“4G……”章儒京喃喃失語,這可是在250納米制程下做出來的容量。

180納米的呢?130納米的呢?單顆容量不得32G?

現在量産的頂級閃存才512M,03年能量産1G的不?

U盤用的低級閃存,主流的才64M、128M啊!

這真是翻天覆地的變化!

一時之間,他的心都癢起來:“廖青山什麽時候到啊?”

“後天,”顧松沒管他的反應,繼續和牛俊明讨論:“現在能買到精度最好的鏡片是什麽參數?咱們的師傅進一步打磨的話,精度能提高到什麽級别?”

牛俊明半天說不出話,最後有點埋怨地說道:“你還是向上面打報告,看能不能調幾個國手來參與課題。”

章儒京和牛俊明的心情是一樣一樣的。

好氣哦,但還得陪他玩!

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