然後是旋轉塗膠,是形成底膜後,要在矽片表面均勻覆蓋光刻膠,此時矽片被放置在真空吸盤上,吸盤底部與轉動電機相連,當矽片靜止或旋轉的非常緩慢時,光刻膠被分滴在矽片上,随後加速矽片旋轉到一定的轉速,光刻膠借助離心作用伸展到整個矽片表面,并持續旋轉甩去多餘的光刻膠,在矽片上得到均勻的光刻膠膠膜覆蓋層,旋轉一直到溶劑揮發,光刻膠膜幾乎幹燥後停止。
然後是軟烘,是塗完光刻膠後,需對矽片進行軟烘,除去光刻膠中殘餘的溶劑,提高光刻膠的粘附性和均勻性。未經軟烘的光刻膠易發粘并受顆粒污染,粘附力會不足,還會因溶劑含量過高導緻顯影時存在溶解差異,難以區分曝光和未曝光的光刻膠。
還有曝光,這個過程是在矽片表面和石英掩模對準并聚焦後,使用紫外光照射,未受掩模遮擋部分的光刻膠發生曝光反應,實現電路圖從掩模到矽片上的轉移。
顯影,是使用化學顯影液溶解由曝光造成的光刻膠可溶解區域,使可見圖形出現在矽片上,并區分需要刻蝕的區域和受光刻膠保護的區域。顯影完成後通過旋轉甩掉多餘顯影液,并用高純水清洗後甩幹。
堅膜,顯影後的熱烘叫做堅膜烘培,溫度比軟烘更高,目的是蒸發掉剩餘的溶劑使光刻膠變硬,提高光刻膠對矽片表面的粘附性,這一步對光刻膠的穩固,對後續的刻蝕等過程非常關鍵。
堅模之後就是刻蝕了,這項工藝非常重要,是通過化學或物理的方法有選擇地從矽片表面除去不需要材料的過程,通過刻蝕能在矽片上構建預想的電子器件。
最後就是去膠,是刻蝕完成後,通過特定溶劑,洗去矽片表面殘餘的光刻膠,此時一個小小的芯片基本就完成了!”
呈賢把這台光刻機的工作原理講的非常清楚,讓周明都有耳目一新的感覺。
“果然厲害,我們的刻紋機就沒有這麽多的結構,怪不得人家那麽強大,在這些小小的細節方面我們就沒法比呀!”
作爲科學家,周明教授隻認真理,人家美國強就是強,你不承認就是自欺欺人,不像有的人,人家比你強還不承認,這樣的态度永遠不會進步。
“海軍小同志,你接觸這套生産線時間最長,那你有如何改進的方法嗎?”
周明看着王海軍問道。
王海軍一聽腦袋晃得跟撥浪鼓一樣。
“我有方法?我要有方法那就是神仙了!”
“周教授,我沒有任何方法,甚至我連光刻機裏的構成都不知道呀!”
王海軍實話實說道。
“嗯,我也沒有方法,這種設備不是幾個人就能弄明白的,看來隻能找人了,或許那幫家夥能幫上忙!”
周明說道。
“誰?周教授你快說!”
劉琅趕忙問道,其他人也是眼前一亮。
“二十年前我們國家成立了光學設備研制小組,現在都是一幫老家夥了!”
周明打了一個電話。
“老謝呀!我是周明呀!”
周明打通這個電話已經是幾天後了,不是他耽誤了時間,而是對方太忙,找了數次都不在,最後還是對方打了過來
“老周,我知道是你………老周,你不在華夏大學上課怎麽跑到了滬市去了?”
對方笑着問道。
劉琅就在旁邊,知道對方叫做謝喜德,現在是首都第三晶體管廠的總工程師,這家晶體管廠可是現在國内最大的一家廠子,年産一千多萬塊晶體管,國内大多數國産收音機裏面的晶體管都是這家廠子的産品,而這位謝喜德同周明教授一樣,也是當年五十年代初期從國外回來的半導體專家,兩人也是二十多年的老朋友了。
“老謝呀!現在滬市不是成立了一家電子産業園區嘛,我在滬市就是在籌備這些事!”
周明回答。
“哼,滬市成立電子産業園區?怎麽是滬市不是首都?首都也不差吧?”
謝喜德一聽頓時語氣有些不善了。
“呵呵,老謝呀!那是國家的決定,不是你我能說的算的,再說,滬市首都哪裏不是一樣?都是爲了我們國家!你看看我,華夏大學的老師不也到這裏來了嗎?”
周明笑道。
“你這個家夥就是老好人………行了,你這麽急找我有什麽事?”
“好事,就是邀請你來滬市看看!”
周明說道。
“看看?你這個老好人我還不了解?悶頭悶腦,但是花花腸子不少,你讓我過去是要幫忙吧?”
“我悶頭悶腦,你可就是聰明絕頂了,有很多事情我辦不了,所以就找你過來看一看!”
周明對這個謝喜德非常客氣。
“我可沒時間,我手裏還有一堆活呢!不去不去!”
對方回答。
“别的呀!老謝,我們這裏可是有那一台島國人制造的晶圓生産線,你不來就要錯過了!”
周明不急不慢地說道。
“我呸!你還好意思說這套生産線的事?當年國家從島國買來這套設備,我們廠可是最先提出來的,結果硬是被那什麽………江南無線電廠給搶去了,他們有什麽?要人沒有人,結果怎麽樣?這麽多年也沒搞出什麽東西來,白白浪費了國家的資金,你現在還拿這件事給我說……不去,說什麽也不去!”
對方當時就急了。
劉琅在一旁聽着好笑,這件事周明跟他說起過,五年前引進這套設備的時候曾經有好幾家企業想要,首都第三晶體管廠做爲國内最大的一家半導體企業,當然希望引進這台具有世界先進水平的生産線,可是這套設備太貴了,價值數千萬美元,雖然國家會給予一定的補貼,但是企業自己也要花費超過億元的資金,這筆錢太多了,光靠企業還是無法完成了,隻能通過當地政府幫忙。
首都沒有出這筆錢,反倒是蘇省拿出這筆錢把這套生産線買了過來,不過江南無線電廠雖然得到了這套設備可也沒有人能夠真正操作,隻是生産了一年之後就因爲市場不好而停工,一放就放了好幾年,要不是有王海軍等幾個人月月維護,這套設備恐怕也就報廢了。
從這件事就可以看出來國家産業的布局沒有一個統一的規劃,一套設備能不能用都還沒弄明白就先買過來,買回來後也不知道誰來使用,要不然劉琅也不會提出産業園區的概念。
這件事讓謝喜德一直耿耿于懷,所以一聽到這件就急了起來。
“老謝,你真的不來?”
周明問道。
“不去,不去,我說不去就不去!”
對方生氣地說道。