“我自己設計的。”
駱垚的眼睛和楊明的眼睛開始對視。
駱垚眼中一絲情緒都沒有,楊明看不穿駱垚的想法,但直覺告訴他這事如果真是駱垚幹出來的,那可以入選天方夜譚故事集選了。
楊明試探的問道:“小同志,這事情可不能開玩笑,EUV光刻機光源系統這套技術現在連斯喀戎那邊都沒有掌握,你确定是你自己設計的?”
駱垚早就知道對方有此一問,所以很快地說起了原理:“光刻機一般分兩種,一種是DUV,而另一種就是EUV,DUV使用的光源波長是193納米,而EUV使用的是13.5納米波長的光源。”
“根據瑞利判據R=D/1.22,可以得出,光學系統能夠分辨的尺寸和波長成正比。”
“所以如果要制造更小尺寸的芯片,就需要更短波長的光,也就是EUV的光源。”
“實際上我們都知道EUV的光源使用的還是193納米的光,但是用它去連續擊打兩次液态金屬錫,就能得到13.5納米的光。”
“截止到這裏都很簡單,不過最難的是它的光路系統中的零件,也就是透鏡。”
楊明邊聽邊點頭。
透鏡的成本占到了整個光刻機的40%左右,成本相當高昂。
光刻機的透鏡就跟照相機鏡頭,由不同形狀的鏡片組成。
如果想更好的理解光刻機,也可以說它是一台大型的照相機。
不同的是,普通的照相機是來拍妹子的,而光刻機則是用來把集成電路圖形通過曝光顯影的原理,複制到晶圓上。
所以透鏡就和照相機鏡頭一樣,主打就是一個貴字。
就是打月亮的神鏡頭,都要叫光刻機透鏡一聲爸爸。
光刻機上面現在有二十多塊透鏡,現在能造出來的隻有三家國外工廠,華國這邊則還在研發中。
“當初這透鏡就難倒了我們,長機那邊産的透鏡,透光率和光滑程度再怎麽做也做不到外國那樣,光源在上面反射出來的效果根本沒法用。”楊明說到這個事情就覺得傷心。
“70年代我們沒有搞半導體真的失去太多了。”楊明感歎道。
駱垚看着楊明那一張滿藏遺憾的臉,想了想,決定攤牌了:“透鏡的技術難點其實都在這個硬盤裏面。”
說着,駱垚将他的紅色硬盤拿了出來,放在了會議桌上。
會議室内其他四個人都看着桌上的紅色硬盤,默不出聲。
頂尖的透鏡技術都在紅色硬盤裏面?
這怎麽可能?
就在大家猶豫的時候,饒慧靈坐不住了,她伸手拿過了硬盤。
“我們先來看看再說。”
饒慧靈拿過電腦接入硬盤,開始看了起來,不一會兒她就不可思議地看着屏幕說:“透鏡的光學晶體極爲特殊,隻有高純稀土鹵化物中晶體成品的性能才能符合要求。”
“駱垚,這一條你是怎麽得出來的?”
“計算。”
“每一種稀土的晶體影響結果我都進行過計算,最終鎖定了高純稀土鹵化物。”
楊明聽到聽到這裏有些激動地說:“确實是高純稀土鹵化物沒有錯,這個之前我們也計算過。”
“伱們看下,這份文檔不光包括了透鏡技術還有光刻膠技術、工作台系統、投影物鏡系統、掩模台系統、自動校準系統…光刻機所有工程文件基本上都在裏面。”
聽到饒慧靈這麽說,楊明一臉嚴肅的接過了電腦和旁邊的人一起看了起來。
整個文件不僅有技術、原理,甚至還包括了每一個零件的尺寸大小!
連一顆螺絲釘的規格、材質都寫的清清楚楚。
說直白點,呈現在他們面前的就是一份光刻機傻瓜制造指南,可以說是手把手教會人如何制造光刻機。
但這技術是對的嗎?
付道斌和他帶來的專家小聲交流的意見後,他問駱垚:“駱垚,這份文件你确定不是來自于國外?”
“不是,我一個16歲的人,我從哪兒去獲得這麽詳細的資料?”駱垚覺得付道斌問得很奇怪。
“如果我都能從AS公司那裏獲得全套光刻機技術,那是不是意味着AS公司的人也太蠢了點?”駱垚毫不客氣地評價道。
駱垚的話提醒了付道斌。
對方隻是個從小鎮上來的16歲的孩子,從什麽渠道獲取?而且最近還派了人跟着他,他除了和公司還有家人接觸之外,完全沒和其他人有過交際。
AS公司嚴防死守那麽多年,怎麽可能洩露這麽完整的技術出來?
現在看來,唯一可以解釋的是,這一切真的是駱垚自己設計的。
華記公司跟付道斌彙報過,駱垚的智商在230以上,這讓付道斌對于駱垚能夠拿出光刻機技術的疑慮消下去了不少。
不過這樣問題也就來了。
要不要按照駱垚提供的工程設計圖進行模型驗證?
“楊教授,還有石教授,你們怎麽看?”
石林剛才一直沒有說話,現在付道斌提起他時,他才說道:“我現在隻是粗略的看了一遍,裏面的部分原理和我們之前研究的結果是一緻的。”
“我想問問駱垚,之前你說要拆機是爲了什麽?”
石林知道依照駱垚的水平,他拆機絕對不可能和哈士奇拆家一個想法,所以拆機的原因,石林覺得這很有可能就是關鍵信息。
“因爲我還沒有證明我的想法是不是正确的,這些文件雖然很詳細,但沒有材料、沒有專業團隊的幫助,我無法建立模型驗證。”
經過第一次的盤古EDA,駱垚其實知道系統提供的技術,絕對不會摻水分,可這事别人不知道。
所以駱垚決定以退爲進,主動提出要進行驗證。
果然,駱垚這麽一說,
付道斌就順勢同意了:“那這樣,我們光在這說也無濟于事,就加快速度組專家團隊做理論論證和建立模型!”
“好,我們的意思也是如此,這套設計方案還是需要拿去論證了才行。”石林贊同道。
“駱垚這邊上次就開發出了盤古EDA,這次沒準兒還真的能夠幫助我們找到建造光刻機的正确方法。”
付道斌現在内心激動無比,如果這次駱垚能和上次一樣,提供的是他們追尋已久的技術,那麽眼前的困局就可能解開了!
“盤古EDA也是駱垚開發的?”全會議室唯一不知情的楊明,乍一聽到這話時,總以爲自己是聽錯了。
直到付道斌确認後,他才意識到駱垚此刻提供的工程設計文件,含金量有多高。
“付主任,驗證過程可以讓我參加進去嗎?”楊明此時心中已經燃起了一小團屬于希望的火苗。
他曾經多次幻想過自己有朝一日能夠帶着團隊找出制造光刻機的關鍵,但都收獲甚微。
現在,有一個機會很有可能讓他親眼目睹光刻機技術在華國的誕生,他當然想要參與進去。
“楊教授,你當然要參加了,這次驗證速度一定要快,否則我們也不知道接下來對面會采取什麽樣的行動。”
“付主任您放心,保證完全任務!我們直接幹通宵!”
楊明如今已經四十多歲了,早已不年輕了,但他知道華國此時急需要一台自主的光刻機來脫困!
這種情況下,楊明感覺自己又回到了十年前,全身都充滿幹勁的時候。
付道斌連打了幾個電話安排專家連夜趕到還在起步階段的光刻機研究所去。
專家們接到電話時都很茫然和焦灼,心想這是遇見了什麽難題嗎?
光刻機的難題可不是随随便便就能解決的,這下一去,不知道什麽時候才能解開。
結果等他們到了研究所時,他們才發現,是領導給他們整了一份光刻機制造全過程的圖紙。
專家們驚駭之下當然想問清楚圖紙的由來,但他們的領導隻說了兩字“涉密”。
“反正是我們的人想出來的,驗證的事情就需要各位來跟進,上面領導高度重視這件事,時間緊迫,我們需要在兩個月之内完成模型驗證。
兩個月?!
事情是真的趕。
但研究所的人,沒有一個有意見,他們反而都振奮了起來。
因爲他們知道,晚一步,他們就會受到不公平的待遇。
晚一步,他們就是展闆上的魚肉。
晚一步,身上的屈辱就會越來越多!
這一刻,他們要爲了洗清曾經的屈辱而行動!
另一邊。
駱垚拿出了光刻機工程設計圖的事情,已經傳到了華記總裁辦的耳中。
總裁辦的人再三詢問了饒慧靈細節之後,一時都陷入了沉默。
他們七人平時自诩爲洞察力比普通人要高得多,但此刻他們卻看不透駱垚。
“正總,你說駱垚拿出來的光刻機到底是真是假?他有從何而來?”路高眉頭緊皺,總感覺駱垚一個人找到了光刻機的技術真是太匪夷所思。
正厚生沉思了一會兒後說道:“這個問題你不能以普通人的眼光去看待。”
“駱垚具備超高的智商,光憑這一點,他在研發上的成就肯定會比别人高。”
“再加上駱垚個人刻苦努力,你看他一回來,也不休息,天天都去圖書館,看的還都是和光刻機相關的書,這說明駱垚能夠繪制出那些工程圖紙,絕非一朝一夕就完後的事情。”
“而且,他拿假技術給我們,圖什麽?阻礙我們的研發進度?”
(本章完)